面對復雜樣品：Sensofar S neox的應對

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面對復雜樣品：Sensofar S neox的應對
真實的工業樣品和科研樣本，其表面特性往往復雜多變，給測量帶來諸多挑戰。樣品可能同時包含光滑區域和粗糙區域，具有高反射的金屬部分和低對比度的非金屬部分，存在平坦的基底和陡峭的臺階，甚至是透明或半透明材質。

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更新時間：2026-01-20

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面對復雜樣品：Sensofar S neox的應對

真實的工業樣品和科研樣本，其表面特性往往復雜多變，給測量帶來諸多挑戰。樣品可能同時包含光滑區域和粗糙區域，具有高反射的金屬部分和低對比度的非金屬部分，存在平坦的基底和陡峭的臺階，甚至是透明或半透明材質。面對這種復雜性，單一測量技術常常顧此失彼。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀的設計哲學，正是為了更有準備地應對這些復雜的測量局面。

Sensofar S neox應對復雜性的核心wu器，是其集成的多模式測量能力和智能化的測量策略。當用戶面對一個特性未知或跨區域的復雜樣品時，無需預先費力判斷哪個區域該用哪種技術。一種方式是使用系統的智能掃描功能，在選定區域，系統可以自動嘗試不同的照明和探測策略，評估信號質量，并選擇或融合zui適he該局部區域的技術來獲取數據。這好比為測量系統賦予了基礎的“適應"能力，使其能根據表面的“反饋"自行調整。

另一種更常用的方式是，用戶可以根據對樣品的了解，手動選擇和組合測量模式。例如，對于一個既有光滑拋光面又有粗糙噴砂面的金屬件，可以對光滑區域采用干涉測量模式以獲得亞納米級的垂直分辨率，同時對粗糙區域采用共聚焦模式以獲得真實的形貌而不受相位跳變影響。測量完成后，軟件可以將來自不同模式的數據在空間上精確對齊、融合，生成一幅完整、連續且各區域都測量優化的三維形貌圖。這種靈活性，是單一技術設備難以企及的。

對于具有高動態范圍（即同時存在極平坦和極陡峭特征）的樣品，如MEMS器件或精密模具，Sensofar S neox的共聚焦模式憑借其層析成像原理，能夠較好地解析陡峭側壁的形貌。而其干涉模式則能精確測量平坦區域的納米級起伏。兩者結合，可以更完整地捕捉復雜三維結構的全部幾何信息。

對于透明或半透明薄膜樣品的表面測量，由于下層界面的反射光會產生干擾，形成所謂的“寄生干涉"，給測量帶來困難。Sensofar S neox通過其算法處理能力和特定的測量模式（如PSI、VSI的結合使用），可以在一定程度上抑制或分離這種干擾信號，從而更準確地獲取薄膜上表面的形貌。雖然這仍是光學測量的挑戰之一，但多技術平臺提供了更多應對的工具和可能性。

因此，面對復雜樣品，Sensofar S neox提供的不是一種固定的解決方案，而是一個包含多種工具和策略的“工具箱"及一定的“自適應"能力。用戶不再需要為每一種特殊樣品尋找一臺專用設備，而是在很大程度上，可以借助這一臺集成化設備，通過調整測量策略來嘗試解決。這降低了對操作人員預判能力的過度依賴，增加了首ci測量成功率，也擴展了單臺設備的應用覆蓋范圍，使其能夠服務于多品種、小批量、高混合度的研發或復雜產品的質檢場景。

面對復雜樣品：Sensofar S neox的應對

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