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在半導(dǎo)體制造、航空航天、生物醫(yī)學(xué)等高精度領(lǐng)域，表面形貌的微小差異往往決定著產(chǎn)品的性能與可靠性。白光干涉儀作為一種基于光學(xué)干涉原理的非接觸式測(cè)量?jī)x器，憑借其納米級(jí)分辨率和三維形貌重建能力，成為現(xiàn)代精密制造與材料科學(xué)的核心工具。本文將從原理、技術(shù)突破、應(yīng)用場(chǎng)景及發(fā)展趨勢(shì)四方面，解析這一光學(xué)測(cè)量技術(shù)的奧秘。一、從單色光到白光：干涉測(cè)量的革命性突破傳統(tǒng)激光干涉儀利用單色光的穩(wěn)定波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，但其相干長(zhǎng)度較長(zhǎng)，導(dǎo)致對(duì)被測(cè)表面平整度要求較高，且難以區(qū)分不同高度的干涉信號(hào)。白光干涉儀...

在追求微觀世界精確數(shù)據(jù)的道路上，科研人員與工程師們常常陷入兩難：是追求數(shù)據(jù)的全面性，還是保證檢測(cè)的高效性？尤其當(dāng)面對(duì)具有重復(fù)性結(jié)構(gòu)的樣品時(shí)，傳統(tǒng)手動(dòng)測(cè)量方式已成為瓶頸。Sensofar推出的Slynx2光學(xué)輪廓儀，其全新的自動(dòng)化流程模塊（APM），正是為了打破這一瓶頸，將繁瑣的測(cè)量任務(wù)轉(zhuǎn)化為高效、可靠的自動(dòng)化流程。01精準(zhǔn)定義，一鍵執(zhí)行：APM的工作哲學(xué)APM的核心，在于將專家的測(cè)量知識(shí)轉(zhuǎn)化為可重復(fù)執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)化程序。用戶無需重復(fù)繁瑣的操作，只需在直觀的軟件界面中定義好測(cè)量路徑...

在掃描電子顯微鏡的微觀世界里，科研人員常常會(huì)遇到一個(gè)令人困惑的現(xiàn)象：當(dāng)觀察陶瓷、高分子聚合物等絕緣樣品時(shí)，圖像會(huì)出現(xiàn)異常亮區(qū)、扭曲漂移，甚至瞬間的“閃白光”。這些“幽靈閃光”背后，究竟隱藏著怎樣的物理奧秘？電荷積累效應(yīng)的物理本質(zhì)掃描電鏡通過發(fā)射高能電子束掃描樣品表面，通過檢測(cè)二次電子和背散射電子信號(hào)來成像。當(dāng)電子束轟擊絕緣樣品時(shí)，注入的電子無法像在導(dǎo)電樣品中那樣快速導(dǎo)出，從而在局部形成負(fù)電荷區(qū)。這些累積的電荷會(huì)產(chǎn)生靜電場(chǎng)，嚴(yán)重干擾后續(xù)電子束的掃描路徑和信號(hào)電子的軌跡，導(dǎo)致圖像...

在精密制造領(lǐng)域，刀具的質(zhì)量檢測(cè)直接關(guān)系到加工零件的精度和表面質(zhì)量。Sneox五軸3D光學(xué)輪廓儀的出現(xiàn)，為刀具檢測(cè)提供了一種全新的高效測(cè)量方案。高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，穩(wěn)定可靠的硬件支撐儀器的核心是它的五軸旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，配備高精度電動(dòng)旋轉(zhuǎn)A軸，支持360°無限旋轉(zhuǎn)，定位重復(fù)性達(dá)到驚人的1弧秒。電動(dòng)B軸的工作范圍為-30°至110°，定位精度為0.5弧分，并配備限位開關(guān)確保安全。同時(shí)，系統(tǒng)集成的System3R夾緊系統(tǒng)進(jìn)一步保證了測(cè)量的穩(wěn)定性。突破技術(shù)局限，精準(zhǔn)測(cè)量微小特征Sneox五軸系統(tǒng)...

Linkam冷熱臺(tái)作為科研實(shí)驗(yàn)室和制藥工業(yè)中廣泛使用的溫度控制設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品從室溫到高溫或低溫的快速升溫和降溫。正確的保養(yǎng)維護(hù)不僅能延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，更能確保實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。本文將為您詳細(xì)介紹Linkam冷熱臺(tái)的保養(yǎng)要點(diǎn)。一、日常清潔與使用規(guī)范1.清潔工作是保養(yǎng)的基礎(chǔ)。每次使用后，應(yīng)等待設(shè)備冷卻至室溫，使用無水乙醇棉球輕輕擦拭樣品臺(tái)面，重點(diǎn)清理樣品放置區(qū)域。對(duì)于頑固污漬，可使用稀鹽酸（1:10）浸泡10分鐘，隨后用去離子水沖洗并烘干。嚴(yán)禁使用硬物刮擦...

澤攸ZEM20臺(tái)式電鏡的性能建立在其扎實(shí)的硬件設(shè)計(jì)和材料選擇之上。從其電子光源到信號(hào)收集系統(tǒng)，每一個(gè)組件的設(shè)計(jì)都影響著最終的分析結(jié)果。電子光學(xué)系統(tǒng)是電鏡的“心臟”。ZEM20采用鎢燈絲電子槍作為發(fā)射源。這是一種經(jīng)久耐用、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且操作穩(wěn)定的技術(shù)方案。雖然其亮度不及場(chǎng)發(fā)射槍，但對(duì)于臺(tái)式電鏡的應(yīng)用場(chǎng)景而言，其性能足以滿足大部分日常觀測(cè)需求，且在維護(hù)成本和操作簡(jiǎn)便性上具有優(yōu)勢(shì)。鏡筒內(nèi)的電磁透鏡由高導(dǎo)磁材料制成，其設(shè)計(jì)旨在有效聚焦電子束，減小像差，從而保證在寬放大倍數(shù)范圍內(nèi)都能獲得清...

SensofarSneox通過共聚焦、干涉、多焦面疊加技術(shù)的無縫切換，實(shí)現(xiàn)了從亞納米級(jí)光滑表面到毫米級(jí)粗糙結(jié)構(gòu)的全范圍測(cè)量覆蓋。共聚焦技術(shù)通過針孔過濾非焦點(diǎn)光線，獲取高對(duì)比度二維圖像，縱向掃描后構(gòu)建3D形貌。該模式橫向分辨率達(dá)0.10μm，搭配150倍、0.95數(shù)值孔徑鏡頭時(shí)，光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°，粗糙表面達(dá)86°，Z軸測(cè)量重復(fù)性穩(wěn)定在納米級(jí)別。適用于微小線條、縫隙等精細(xì)結(jié)構(gòu)的識(shí)別，如半導(dǎo)體芯片的線路形貌檢測(cè)。白光干涉與相位移干涉模式針對(duì)不同光滑度表面優(yōu)化：白光干涉縱向分...

點(diǎn)擊藍(lán)字關(guān)注我們?cè)诎雽?dǎo)體制造工藝中，刻蝕作為關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，其精度直接決定著芯片性能的優(yōu)劣。傳統(tǒng)測(cè)量方法在面對(duì)復(fù)雜的刻蝕剖面時(shí)往往力不從心，而SensofarSneox3D光學(xué)輪廓儀的出現(xiàn)，為這一難題帶來了突破性解決方案。刻蝕工藝的測(cè)量挑戰(zhàn)刻蝕工藝通過濕法刻蝕或干法刻蝕方式，選擇性去除晶片材料以塑造電路特征。在這個(gè)過程中，刻蝕深度均勻性和側(cè)壁角度精度成為影響器件性能的關(guān)鍵參數(shù)。特別是隨著器件尺寸的不斷縮小，對(duì)測(cè)量精度的要求也越來越高。突破性技術(shù)優(yōu)勢(shì)SensofarSneox3D...