投資一臺高質量的測量設備，不僅關注其當前性能，也需考量其適應未來技術發展和應用需求變化的能力。ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀平臺通常設計有一定的模塊化和可擴展性，為用戶預留了通過升級硬件模塊、更新軟件系統來提升功能、拓展應用邊界的可能性，從而保護長期投資價值。

1. 硬件模塊升級：

   
   

• 物鏡與光學配件：可以增配不同倍率、不同數值孔徑（NA）、不同工作距離的物鏡，以適應從大視野檢測到高分辨率觀測的不同需求。特殊用途物鏡，如長工作距離物鏡、紅外物鏡、顯微干涉物鏡等，可擴展測量范圍。

  
  

• 光源升級：升級到更亮、更穩定、壽命更長的LED光源，或增加特定波長的單色光源用于特殊應用（如膜厚測量）。集成頻閃照明光源，用于MEMS等動態測量。

  
  

• 掃描與定位系統：升級到行程更大、速度更快、精度更高的電動XY載物臺，或增加旋轉、傾斜臺，用于測量復雜曲面。升級Z軸掃描器，提升掃描速度或穩定性。

  
  

• 探測系統：升級到更高分辨率、更快幀率、更低噪聲的科學級相機，提升成像質量和測量速度。

  
  

• 環境控制附件：增加溫控樣品臺、濕度控制艙、真空腔或防振罩，以滿足特殊環境下的測量需求。

  
  

• 自動化附件：集成自動上下料機械臂、多樣品盤載物臺、條碼閱讀器等，實現全自動化測量。

  
  

2. 軟件與功能升級：

   
   

• 核心軟件版本更新：通過購買軟件維護合約，定期獲得guan方的軟件更新。這些更新通常包含性能優化、錯誤修復、新算法以及有時新增的分析功能。

  
  

• 高級分析模塊：單獨購買或解鎖高級數據分析軟件包，如更強大的顆粒與缺陷分析模塊、高級頻率分析工具、符合特定行業標準（如汽車、航空）的專用分析包、批量報告生成器等。

  
  

• 專用測量模式：通過軟件升級，啟用針對透明/多層膜分析、大傾角測量、相位測量等專用算法模式。

  
  

• 自動化與通信接口：升級軟件以支持更強大的腳本編程（API）功能，或支持與制造執行系統（MES）、實驗室信息管理系統（LIMS）集成的標準通信協議（如SECS/GEM, OPC UA）。

  
  

3. 校準與認證服務更新：

   
   

• 隨著使用，設備需要定期校準。升級到更高級別的校準服務（如增加更多參數的校準、縮短校準周期），或獲取針對特定應用（如半導體、光學）的專項認證，可以持續保證設備在gao端應用中的計量可信度。

  
  

• 明確未來需求：在購買時就可與供應商討論未來的可能需求，了解平臺的擴展能力。

  
  

• 投資服務合約：購買延長保修或全面服務合約，通常包含軟件更新和技術支持，是性價比高的升級保障。

  
  

• 分階段實施：根據預算和技術發展，制定分階段的升級計劃。例如，先滿足當前急需，一兩年后根據新項目需求增加自動化附件或高級分析軟件。

  
  

ZYGO 未來升級與擴展可能性