ContourX-500布魯克操作技巧與最佳實踐

• 樣品清潔：這是最基礎也最重要的一步。使用無塵手套、壓縮空氣、合適的溶劑（如IPA、丙酮）清潔樣品表面，確保無灰塵、油脂、指紋或殘留物。污染物會嚴重影響干涉信號和測量結果。

  
  

• 樣品固定：確保樣品穩固、水平地放置在樣品臺上。對于小樣品，使用黏土或專用夾具；對于重或大樣品，確保重心穩定。傾斜的樣品會減少有效測量區域并增加數據處理難度。

  
  

• 環境穩定：讓設備在測量環境中充分預熱（通常30分鐘以上）以達到熱平衡。關閉門窗，避免人員走動或大聲說話引起的空氣擾動和振動。關閉強環境光或使用遮光罩。

  
  

• 物鏡選擇：根據特征尺寸和所需分辨率選擇物鏡。低倍物鏡（如2.5X， 5X）視場大，適合大范圍掃描和粗糙表面；高倍物鏡（如50X， 100X）分辨率高，適合觀測微小特征。對于有陡峭側壁的樣品，高NA物鏡能收集更多傾斜光線。

  
  

• 掃描范圍與步長：掃描范圍應略大于樣品表面的最大高度差。步長（垂直掃描間隔）的設置是關鍵：步長太小會增加測量時間和數據量，可能沒必要；步長太大會丟失細節，降低垂直分辨率。一般建議步長設置為預期垂直分辨率的1/3到1/2。可以利用軟件的“預覽掃描"功能快速確定合適的范圍。

  
  

• 光源亮度與相機設置：調整光源強度使干涉條紋對比度最佳（通常圖像灰度值在中間范圍，不過曝也不欠曝）。對于高反光樣品，降低亮度或使用偏振片；對于低反光樣品，增加亮度或延長相機積分時間。

  
  

• 觀察干涉條紋：在開始正式掃描前，通過實時視頻觀察干涉條紋。清晰、對比度高的條紋是獲得好數據的前提。如果條紋模糊、斷裂或混亂，需要檢查清潔、對焦、亮度或樣品是否合適。

  
  

• 使用自動功能：善用設備的自動對焦、自動亮度、自動曝光功能，它們能快速優化基礎設置。但對于特殊或困難樣品，手動微調可能更有效。

  
  

• 傾斜校正（Leveling）：這是處理步驟，用于去除因樣品放置傾斜引入的基準面傾斜。但需注意選擇正確的校正區域和類型（如平面擬合、直線擬合）。

  
  

• 濾波（Filtering）：根據需要應用空間或形態學濾波器，以分離形狀誤差、波紋度和粗糙度成分（遵循ISO標準）。選擇不恰當的截止波長會扭曲真實的表面信息。

  
  

• 避免過度處理：所有后處理都應基于測量目的，并有明確記錄。過度處理會掩蓋真實表面特征，導致錯誤結論。

  
  

• 重復測量：對于關鍵測量，進行重復性測試，以確保結果的穩定可靠。

  
  

• 使用標準樣塊：定期使用經過認證的標準臺階高度或粗糙度樣塊校準和驗證設備狀態。

  
  

• 完整記錄：保存原始的測量數據、處理步驟和所有參數設置。詳細的元數據對于結果追溯、問題排查和審計至關重要。

  
  

遵循這些最佳實踐，操作者可以更自信地操作ContourX-500布魯克，確保每次測量都能產出高質量、可信賴的數據，從而為研發、生產和質量控制提供堅實依據。

ContourX-500布魯克操作技巧與最佳實踐