光學(xué)元件加工新助力ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀

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光學(xué)元件加工新助力ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件的表面粗糙度與面形精度，直接決定成像質(zhì)量。某光學(xué)元件加工廠技術(shù)總監(jiān)分享了ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀如何優(yōu)化加工流程。

產(chǎn)品型號(hào)：ZYGO Nexview NX2

更新時(shí)間：2025-10-31

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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光學(xué)元件加工新助力ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀光學(xué)元件的表面粗糙度與面形精度，直接決定成像質(zhì)量。某光學(xué)元件加工廠技術(shù)總監(jiān)分享了ZYGO Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀如何優(yōu)化加工流程。

該廠主要生產(chǎn)紅外光學(xué)棱鏡，材料為鍺晶體（硬度低、易損傷）。過去使用接觸式輪廓儀，檢測(cè)時(shí)探針壓迫導(dǎo)致樣品表面產(chǎn)生微裂紋，廢品率約5%。引入NX2后，非接觸式測(cè)量解決了這一問題，同時(shí)掃描速度提升3倍——單塊棱鏡（50mm×50mm）的面形檢測(cè)從10分鐘縮短至3分鐘。

軟件的工藝指導(dǎo)功能被團(tuán)隊(duì)頻繁使用。NX2可對(duì)比加工前后的三維輪廓，計(jì)算去除量分布，幫助工程師調(diào)整拋光參數(shù)。例如，某批次棱鏡存在局部“塌邊"問題，軟件通過分析輪廓數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)是拋光布轉(zhuǎn)速不均導(dǎo)致，調(diào)整后良品率從88%提升至95%?！耙郧翱坷蠋煾凳指姓{(diào)參，現(xiàn)在有了數(shù)據(jù)支撐，工藝穩(wěn)定性大幅提升。"技術(shù)總監(jiān)說。

此外，設(shè)備支持遠(yuǎn)程協(xié)作功能?？偛垦邪l(fā)中心可通過網(wǎng)絡(luò)調(diào)取車間NX2的檢測(cè)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)分析加工問題，縮短了“問題反饋-方案制定"的周期。對(duì)于光學(xué)加工這種“經(jīng)驗(yàn)+數(shù)據(jù)"雙驅(qū)動(dòng)的行業(yè)，NX2不僅是一臺(tái)檢測(cè)設(shè)備，更成為連接研發(fā)與生產(chǎn)的數(shù)字化橋梁。光學(xué)元件加工新助力ZYGO激光干涉光學(xué)輪廓儀

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