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ZYGO光學(xué)元件面形檢測(cè) 光學(xué)元件的面形精度影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。對(duì)面形誤差進(jìn)行檢測(cè)，是光學(xué)制造中的重要環(huán)節(jié)。

ZYGO半導(dǎo)體工藝中的測(cè)量 半導(dǎo)體制造對(duì)工藝控制有嚴(yán)格要求，表面測(cè)量是工藝監(jiān)控的重要環(huán)節(jié)。ZYGO Nexview NX2白光干涉儀在半導(dǎo)體工藝中可用于測(cè)量晶圓表面的薄膜厚度、圖形結(jié)構(gòu)、缺陷等特征，為工藝開(kāi)發(fā)和質(zhì)量管理提供測(cè)量數(shù)據(jù)。該設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)有應(yīng)用案例。

ZYGO表面粗糙度量化分析 表面粗糙度是評(píng)價(jià)表面質(zhì)量的重要參數(shù)。對(duì)粗糙度進(jìn)行量化分析，有助于理解表面特性與功能性能的關(guān)系。

ZYGO非接觸式測(cè)量方案 在表面測(cè)量中，非接觸式方法因其不損傷樣品的特性而受到關(guān)注。ZYGO Nexview NX2采用光學(xué)干涉原理，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品表面的非接觸三維測(cè)量。該方案在精密零件檢測(cè)、光學(xué)元件評(píng)估、半導(dǎo)體工藝監(jiān)控等場(chǎng)景中有應(yīng)用實(shí)例，為表面質(zhì)量控制提供了測(cè)量選擇。

ZYGO三維表面形貌觀察 對(duì)材料表面三維形貌的觀察，有助于了解表面特征與性能之間的關(guān)系。ZYGO Nexview NX2白光干涉儀通過(guò)光學(xué)方法，能夠獲取樣品表面的三維高度信息，為表面形貌分析提供了觀察工具。該設(shè)備在材料研究、質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域有應(yīng)用實(shí)例。

ZYGO白光干涉技術(shù)的應(yīng)用 白光干涉技術(shù)是基于光波干涉原理的表面測(cè)量方法。ZYGO Nexview NX2設(shè)備將這一技術(shù)應(yīng)用于實(shí)際測(cè)量，為觀察樣品表面微觀形貌提供了工具。該技術(shù)在半導(dǎo)體、光學(xué)、精密制造等行業(yè)有應(yīng)用案例，能夠?yàn)楸砻尜|(zhì)量評(píng)估提供數(shù)據(jù)參考。