了解激光共聚焦顯微鏡OLS5100功能
在工業研發與質量檢測中,對產品微觀結構的觀察與分析是常見環節。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100整合了成像與計量功能,旨在應對這類需求。
其核心功能之一是激光共聚焦成像。與傳統寬場顯微鏡不同,它利用激光作為光源,通過掃描樣品上的一點,并在探測器前使用共聚焦針孔,來抑制焦點以外的雜散光信號。這種方式有助于提升圖像的信噪比和軸向分辨率,從而獲得光學截面圖像。對于表面不平整或透明的多層樣品,可以逐層掃描,獲取一系列不同焦平面的清晰圖像。
基于這些序列圖像,系統軟件可以重建出樣品表面的三維形貌。這使得觀察不再局限于二維平面,能夠以三維視角審視結構的起伏、孔隙或層疊關系。三維可視化功能讓形態評估更為直觀。
在獲得三維形貌數據后,可以進行多種幾何尺寸的測量。軟件提供了點、線、面的測量工具,能夠計算高度差、粗糙度、體積、角度等參數。這些定量數據對于工藝控制、質量比對或缺陷分析有參考意義。例如,測量鍍層厚度、拋光表面的粗糙度,或分析微加工結構的尺寸是否符合預期。
設備也提供了一些擴展分析功能。比如輪廓測量、臺階高度測量、薄膜厚度測量等,適用于半導體、顯示屏、精密加工等行業的具體檢測項目。軟件通常允許用戶自定義測量報告格式,方便數據歸檔和分享。
在操作流程上,從載物臺調平、樣品放置、對焦到開始掃描,步驟設計得較為清晰。自動功能,如自動對焦和多點測量,可以在一定程度上幫助提升重復性檢測的效率。用戶界面將光學控制、掃描設置、圖像處理和測量工具集成在一起,旨在降低不同功能模塊切換的復雜度。
為了適應多樣化的樣品,OLS5100支持多種物鏡和配件。長工作距離物鏡便于觀察有高度起伏的樣品,而高數值孔徑的物鏡則有助于分辨更精細的細節。熒光附件擴展了它在生命科學領域觀察熒光標記樣品的可能性。
綜上所述,激光共聚焦顯微鏡OLS5100的功能設計圍繞高清晰度成像與定量計量展開,致力于為質量保障、失效分析、工藝開發等應用場景提供一種集成化的顯微觀察與測量方案。
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