OLS5100激光共聚焦顯微鏡的價(jià)值

• 化學(xué)機(jī)械拋光后檢查：CMP是確保晶圓全局和局部平整度的關(guān)鍵工藝。OLS5100可以快速、非接觸地測(cè)量CMP后晶圓表面的三維形貌，評(píng)估其整體平整度（全局傾斜、彎曲）和局部粗糙度（納米級(jí)）。這對(duì)于監(jiān)控拋光工藝的穩(wěn)定性、檢測(cè)拋光缺陷（如劃痕、凹陷、殘留顆粒）非常重要。其大面積掃描拼接功能適合對(duì)晶圓進(jìn)行抽檢。

  
  

• 薄膜的厚度均勻性、表面粗糙度直接影響器件性能。OLS5100可以通過(guò)測(cè)量薄膜表面的臺(tái)階高度（在特意制造的臺(tái)階處）來(lái)估算薄膜厚度（需已知或近似折射率）。更重要的是，它可以精確測(cè)量薄膜表面的納米級(jí)粗糙度（Sa, Sq），這對(duì)于評(píng)估沉積工藝（如PVD, CVD）的質(zhì)量、研究薄膜生長(zhǎng)模式、以及預(yù)測(cè)薄膜的電學(xué)/光學(xué)特性（如散射損耗）具有參考價(jià)值。

  
  

• 對(duì)于特征尺寸在光學(xué)分辨率極限以上的結(jié)構(gòu)（通常大于0.5-1微米，取決于物鏡），OLS5100可以用于測(cè)量其關(guān)鍵尺寸。例如：

  
  

• 線(xiàn)寬/線(xiàn)距：通過(guò)提取線(xiàn)條頂部的二維輪廓進(jìn)行測(cè)量。

  
  

• 臺(tái)階高度/溝槽深度：精確測(cè)量刻蝕結(jié)構(gòu)的深度，這是評(píng)估刻蝕工藝各向異性和選擇比的重要參數(shù)。

  
  

• 側(cè)壁角度：通過(guò)分析三維形貌或提取的側(cè)壁輪廓，可以估算結(jié)構(gòu)的側(cè)壁角度，判斷是否存在鉆蝕或底切等刻蝕缺陷。

  
  

• 圖形保真度：觀(guān)察光刻膠圖形或刻蝕后結(jié)構(gòu)的實(shí)際形貌與設(shè)計(jì)圖形的差異。

  
  

• 隨著摩爾定律逼近極限，先jin 封裝技術(shù)變得至關(guān)重要。OLS5100在此領(lǐng)域有諸多應(yīng)用：

  
  

• 凸點(diǎn)測(cè)量：用于倒裝芯片的焊料凸點(diǎn)或銅柱凸點(diǎn)，可以測(cè)量其高度、直徑、共面性（所有凸點(diǎn)頂部的高度一致性），這對(duì)于確保焊接可靠性至關(guān)重要。

  
  

• 硅通孔測(cè)量：可以觀(guān)察TSV的開(kāi)口形貌，測(cè)量其直徑和深度（如果開(kāi)口足夠大）。

  
  

• 再布線(xiàn)層與焊盤(pán)：測(cè)量RDL線(xiàn)路的形貌、厚度，檢查焊盤(pán)的共面性和表面狀況。

  
  

• 許多MEMS器件（如加速度計(jì)、陀螺儀、麥克風(fēng)）的微機(jī)械結(jié)構(gòu)尺寸在微米級(jí)。OLS5100可以非接觸地測(cè)量可動(dòng)結(jié)構(gòu)（如梁、質(zhì)量塊）的靜態(tài)形貌、初始彎曲（靜摩擦力）、以及與基底之間的間隙。這對(duì)于器件設(shè)計(jì)驗(yàn)證和工藝控制很有幫助。

  
  

• 當(dāng)器件發(fā)生失效時(shí)，OLS5100可以用于進(jìn)行非破壞性的初步形貌分析。例如，觀(guān)察鍵合焊點(diǎn)或焊球的形貌，尋找開(kāi)裂、空洞等缺陷；檢查劃片槽的切割質(zhì)量；定位表面污染物或異常突起。其三維成像能力有助于判斷缺陷的深度和體積。

  
  

• 非接觸、無(wú)損：wan 全避免對(duì)嬌貴的晶圓和結(jié)構(gòu)造成物理?yè)p傷或污染，符合潔凈室要求。

  
  

• 快速、大視場(chǎng)：相對(duì)于某些高分辨率但視場(chǎng)小、速度慢的技術(shù)，OLS5100能較快完成較大區(qū)域的掃描和檢測(cè)，適合在線(xiàn)或近線(xiàn)抽檢。

  
  

• 三維信息：提供高度信息，這是二維光學(xué)顯微鏡或電子顯微鏡的二次電子像所不具備的，對(duì)于測(cè)量臺(tái)階高度、共面性、體積等至關(guān)重要。

  
  

• 量化分析：提供基于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度參數(shù)，將形貌描述量化。

  
  

當(dāng)然，對(duì)于低于其光學(xué)分辨率的特征（如當(dāng)前先jin 制程的線(xiàn)寬），需要依賴(lài)CD-SEM等設(shè)備。但作為整個(gè)半導(dǎo)體計(jì)量生態(tài)中的一環(huán)，奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100在微米尺度形貌控制、薄膜質(zhì)量評(píng)估、封裝檢測(cè)和失效分析等方面，以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，為提升半導(dǎo)體制造良率和可靠性提供了有價(jià)值的計(jì)量支持。它幫助工程師從三維空間視角監(jiān)控工藝，將微觀(guān)形貌的波動(dòng)與器件性能聯(lián)系起來(lái)。

OLS5100激光共聚焦顯微鏡的價(jià)值