OLS5100激光共聚焦顯微鏡的特點

產(chǎn)品簡介

OLS5100激光共聚焦顯微鏡的特點
在微觀尺度上對材料表面進行測量，如何在不損傷、不干擾樣品的前提下獲取真實、可靠的形貌數(shù)據(jù)，是一個關(guān)鍵的考量因素。

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更新時間：2026-01-28

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OLS5100激光共聚焦顯微鏡的特點

在微觀尺度上對材料表面進行測量，如何在不損傷、不干擾樣品的前提下獲取真實、可靠的形貌數(shù)據(jù)，是一個關(guān)鍵的考量因素。接觸式探針測量儀雖然應用廣泛，但其機械探針與表面的物理接觸，存在劃傷柔軟樣品、對低硬度材料造成形變、測量速度相對較慢等局限。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100采用激光作為探測媒介，實現(xiàn)了wan 全非接觸的三維測量，這一特點使其在許多應用場景中展現(xiàn)出獨特的優(yōu)勢。

對樣品的無損性是首要特點。 OLS5100的測量激光束聚焦在樣品表面一個微小光點上，其光壓和熱效應通常可以忽略不計，不會對樣品表面產(chǎn)生機械應力或?qū)е聼釗p傷。這意味著，對于極其柔軟、易變形、粘性或脆性的材料（如某些高分子凝膠、生物組織、精密光學涂層、未經(jīng)處理的粉末），可以安全地進行測量，獲得樣品在自然狀態(tài)下的真實形貌，避免了因接觸壓力導致的壓痕或變形引入的測量誤差。

避免樣品污染與儀器磨損。 在半導體、精密光學、數(shù)據(jù)存儲等行業(yè)，晶圓、光掩模、磁頭、鏡頭等關(guān)鍵元件的表面必須保持超高潔凈度，任何微小的顆粒污染或劃痕都可能導致器件失效。OLS5100的非接觸光學測量方式，wan 全避免了因測量工具接觸帶來的污染風險或表面劃傷。同時，由于沒有探針等運動部件與樣品發(fā)生摩擦，也避免了儀器自身的磨損，有利于保持長期測量的穩(wěn)定性。

測量速度相對較快，適合大范圍掃描。 激光共聚焦顯微鏡通過光束掃描或樣品臺移動實現(xiàn)逐點成像。雖然單點采集需要時間，但現(xiàn)代設(shè)備通常具有較快的掃描速度。對于需要獲取較大區(qū)域三維形貌的應用，OLS5100可以自動控制樣品臺進行多視場掃描，并通過軟件拼接生成大面積的三維形貌圖。這種非接觸式快速掃描能力，使其能夠勝任一定通量的檢測任務，提高測量效率。

對特殊形貌的探測能力。 對于具有高深寬比結(jié)構(gòu)（如深槽、陡峭側(cè)壁）或非常光滑/粗糙的表面，機械探針可能因尖duan 半徑限制或無法觸及而測量困難。光學方法則不受此類幾何形狀的物理限制。然而，需要指出的是，激光共聚焦顯微鏡對近乎垂直的側(cè)壁測量也存在挑戰(zhàn)，因為激光可能無法反射回探測器。但對于大多數(shù)常規(guī)的微結(jié)構(gòu)表面，其非接觸特性使得測量更為靈活。

適用于多種物態(tài)和環(huán)境的樣品。 除了固體表面，OLS5100在適當配置下也可用于觀察液體表面（如液滴形貌）或測量透明薄膜的上下表面（通過區(qū)分來自不同界面的反射光信號）。其非接觸特性使其更容易與特殊環(huán)境腔（如溫控腔、氣氛腔）結(jié)合，進行原位條件下的表面形貌觀察，而無需復雜的探針引入機制。

當然，非接觸光學測量也有其適用的范圍和條件。對于高反射鏡面，激光可能產(chǎn)生強烈的鏡面反射，導致探測器飽和或信號難以處理，有時需要調(diào)整光路或使用偏振技術(shù)。對于透明或半透明材料，激光可能穿透表面，從下層界面或內(nèi)部反射回來，干擾表面信號的提取，需要仔細選擇參數(shù)或使用專門的解析方法。對于極gao 深寬比結(jié)構(gòu)的底部，信號可能很弱。但總體而言，在廣泛的工業(yè)和科研應用中，非接觸測量帶來的好處是顯著的。

奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100的非接觸測量特點，不僅是其一項技術(shù)屬性，更是其拓展應用場景、保障測量可靠性和提升工作安全性的基礎(chǔ)。它使得對脆弱、潔凈、高價值或特殊環(huán)境下的樣品進行精密三維形貌表征成為常規(guī)操作，滿足了現(xiàn)代制造業(yè)和前沿研究對無損、快速、高精度檢測日益增長的需求。這種“只觀不觸"的方式，體現(xiàn)了現(xiàn)代計量技術(shù)對測量對象完整性的尊重和對數(shù)據(jù)保真度的追求。

OLS5100激光共聚焦顯微鏡的特點

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