ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

產品簡介

ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越
傳統上，許多行業依賴輪廓儀或二維圖像分析來評估表面質量，這些方法僅能提供線條或平面的有限信息。ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀實現了從二維到真實三維表面評估的跨越，它提供的全場三維形貌數據，帶來了更全面、更真實、信息量更豐富的表面表征能力，推動了質量控制與研究的范式轉變。

產品型號：ZeGage Pro

更新時間：2026-01-23

廠商性質：代理商

訪問量：98

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ZYGO光學輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

傳統上，許多行業依賴輪廓儀或二維圖像分析來評估表面質量，這些方法僅能提供線條或平面的有限信息。ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀實現了從二維到真實三維表面評估的跨越，它提供的全場三維形貌數據，帶來了更全面、更真實、信息量更豐富的表面表征能力，推動了質量控制與研究的范式轉變。

二維輪廓測量（如觸針式輪廓儀）沿一條線掃描，獲得一條高度輪廓曲線，從中提取Ra, Rz等參數。光學顯微鏡或電子顯微鏡提供表面的二維圖像。這些方法都有其局限性：輪廓儀是“一維"的，可能錯過線外的特征；二維圖像缺乏高度信息，無法計算體積、坡度等功能參數。

ZYGO ZeGage Pro通過白光干涉測量，一次性獲取整個視場內數十萬至上百萬個點的三維坐標（X, Y, Z），形成一個數字化的表面“地貌圖"。這一跨越帶來了多方面的根本性提升：

1. 信息完整性：

全場數據：不再只是單條線或一個圖像，而是整個區域的高度場。可以觀察表面紋理的分布、各向異性、缺陷的位置與集群情況。
真實三維形貌：可以直接觀察凹坑、凸起、劃痕、孔洞等特征的立體形態，而非其在二維平面上的投影。

2. 參數豐富性與功能性：

三維粗糙度參數：可以計算ISO 25178標準中定義的一系列三維面積參數，如算術平均高度Sa、均方根高度Sq、偏斜度Ssk、峰度Sku等，這些參數比二維的Ra, Rq更能反映表面的統計特性。
空間與功能參數：可以計算紋理方向Str、自相關長度Sal等空間參數，以及基于Abbott-Firestone曲線的功能參數，如核心粗糙度深度Sk、減小峰高Spk、減小谷深Svk、表面支承率Smr等。這些參數與表面的摩擦、潤滑、密封、涂漆附著等性能直接相關。
體積與面積測量：可以直接計算磨損體積、材料損失量、孔隙體積、表面積增大比率等，這在磨損研究、涂層評估中ji具價值。

3. 分析與診斷能力的飛躍：

任意截面分析：可以在三維形貌圖上任意位置、任意方向截取無數條二維輪廓線進行分析，而不jin限于固定的一條。
三維形貌運算：可以進行三維濾波（分離形狀、波紋度、粗糙度）、布爾運算（與CAD模型比對）、形態學操作等。
缺陷的自動識別與統計：基于三維形貌，可以更準確地設置閾值來自動識別顆粒、劃痕、凹坑，并統計其數量、尺寸、體積分布。
可視化與演示：三維形貌圖、等高線圖、偽彩色圖等可視化手段，使得表面狀態一目了然，便于溝通和演示。

應用實例的對比：

評估一個拋光表面：2D輪廓儀可能給出一個良好的Ra值，但3D測量可能發現表面存在周期性的波紋（由Rsm參數或FFT分析揭示），這可能在光學應用中造成散射。
分析一個磨損表面：2D方法只能估計線磨損深度，3D方法可以精確計算整個磨損區域的體積損失。
檢查一個噴涂表面：2D圖像無法判斷橘皮紋理的高度，3D測量可以量化橘皮的幅度和波長。

ZYGO ZeGage Pro實現的從2D到3D的跨越，本質上是將表面評估從基于“抽樣"和“投影"的簡化模型，升級為基于“全域"和“實體"的數字化復制。這使得工程師和研究人員能夠以前所未you的深度和廣度理解表面，做出更精準的工藝決策和質量判斷，真正將表面計量帶入了三維數字化時代。

ZYGO 從2D到3D表面評估的跨越

上一個：ZeGage ProZYGO 在醫療器械表面檢測中的角色