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ZYGO 技術特點了解設備的技術特點是有效使用的基礎。ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀在光學設計、掃描控制、信號處理等方面具有一些技術特征,這些特征共同決定了設備的性能表現和應用范圍。
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光學系統設計方面,該設備采用特定的干涉物鏡配置。物鏡的光學性能影響成像質量和測量精度,色差校正和像場平整度的控制是設計的考慮因素。光源的穩定性和光譜特性也會影響干涉信號的質量。這些光學設計的選擇,關系到設備能夠達到的分辨率和測量范圍。
ZYGO 技術特點