ContourX-500布魯克：應(yīng)對透明與多層膜測量挑戰(zhàn)

1. 光學(xué)調(diào)整與樣品準(zhǔn)備：

   
   

• 背面涂黑：對于較厚的透明基底，在其背面涂抹吸光材料（如黑色墨水或膠帶）是簡單有效的方法，可以吸收透射光，消除背面反射干擾。

  
  

• 使用抗反射（AR）涂層的物鏡：減少物鏡表面的反射，提升信噪比。

  
  

• 調(diào)整光源與偏振：在某些情況下，調(diào)整光源角度或使用偏振片可以抑制特定方向的反射，增強上表面信號。

  
  

2. 優(yōu)良的測量模式與算法：

   
   

• 增強型VSI模式：一些型號的ContourX-500布魯克配備了專門針對透明材料的算法。這些算法能夠識別并分離來自不同界面的干涉信號包絡(luò)。通過分析這些包絡(luò)的強度、間距或相位信息，可以單獨重建上表面、下表面甚至中間層界面的形貌，并同時測量薄膜的厚度（物理厚度或光學(xué)厚度）。

  
  

• 共聚焦模式：如前文所述，共聚焦模式具有光學(xué)切片能力，通過其針孔可以有效抑制非焦平面的反射光。通過精細調(diào)整焦點位置，可以依次對透明樣品的上表面、下表面或內(nèi)部特定層面進行成像和高度測量，更適合層析分析。

  
  

• 光譜干涉儀模式（若配備）：這是測量透明與多層膜的強大工具。它通過分析反射光的白光光譜（不同波長光的干涉情況），利用光譜域的分析方法，能夠非常精確地同時測量多個界面的形貌和各層薄膜的厚度，分辨率可達納米級。

  
  

3. 應(yīng)用實例：

   
   

• 光學(xué)元件：測量透鏡、窗口片、濾光片等光學(xué)元件的表面面形（平整度、曲率）和表面粗糙度，確保其光學(xué)性能。

  
  

• 顯示面板：測量OLED或LCD顯示面板中多層薄膜（如ITO導(dǎo)電層、有機發(fā)光層、封裝層）的厚度均勻性和表面平整度。

  
  

• 半導(dǎo)體薄膜：測量硅片上沉積的氧化層、氮化硅層、光刻膠等的厚度和表面形貌。

  
  

• 聚合物薄膜：測量包裝膜、保護膜、柔性電子基材等薄膜材料的表面粗糙度、劃痕深度以及厚度變化。

  
  

• 生物醫(yī)用涂層：測量載藥涂層或生物相容性涂層的表面形貌與厚度分布。

  
  

通過綜合利用這些技術(shù)和策略，ContourX-500布魯克能夠有效地“看透"透明與多層材料帶來的干擾，精確地獲取目標(biāo)表面的三維形貌信息。這使得它在光學(xué)、顯示、半導(dǎo)體、包裝和生物材料等諸多涉及透明與薄膜器件的領(lǐng)域，計量和檢測工具，幫助用戶把控從研發(fā)到生產(chǎn)各環(huán)節(jié)的薄膜與表面質(zhì)量。

ContourX-500布魯克：應(yīng)對透明與多層膜測量挑戰(zhàn)