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產品中心三維光學輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析
產品簡介
白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析：Sensofar S neox通過三維形貌測量，可自動識別并量化表面微納顆粒的高度、體積及分布，實現潔凈度從定性觀察到定量分析的提升。
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在半導體、數據存儲、精密光學等領域，表面上的微米甚至亞微米級顆粒污染物可能對產品性能或可靠性產生明顯影響。因此，對表面潔凈度的監控和顆粒污染的分析顯得必要。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀不僅能提供高清晰度的表面圖像，更能通過三維形貌測量對檢測到的顆粒進行量化分析。
傳統的顆粒檢測可能依賴于二維圖像分析，但二維方法難以區分真實顆粒與表面色斑或劃痕，也無法獲得顆粒的高度或體積信息。S neox通過三維測量提供了更豐富的數據。
檢測流程通常如下：首先，利用S neox的光學成像能力快速掃描一個相對大的區域，進行初步的顆粒定位和篩查。然后，可以切換到更高倍率的物鏡，對疑似顆粒的區域進行精細的三維掃描。
獲得三維形貌數據后，SensoMAP軟件的分析功能可以發揮作用。通過設定適當的高度閾值和尺寸篩選條件，軟件可以自動識別并定位出表面上的顆粒狀特征。對于每一個被識別的顆粒，軟件可以計算出一系列參數，例如：
•投影面積：顆粒在XY平面上的覆蓋范圍。
•高度：顆粒的頂點相對于基底的高度，反映了顆粒的“厚度"。
•體積：顆粒的三維空間體積，這對于評估污染物總量可能提供參考。
•密度分布：在較大區域內統計單位面積上的顆粒數量。
這些定量數據比單純的“有"或“無"的定性判斷包含更多信息。例如，通過分析顆粒的高度和形狀，有時可以對顆粒的來源或性質進行初步推斷（如球形顆粒可能與某些工藝相關）。顆粒的體積信息對于評估污染程度也可能具有參考價值。
白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析