ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索

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ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索在半導體與光學領域，薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜，若表面存在微米級顆粒或臺階起伏，可能導致器件失效或光學性能衰減。某專注光學薄膜研發的科技公司，曾因膜層表面檢測難題困擾多年，直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀，才真正實現了從“經驗判斷"到“數據驅動"的跨越。

產品型號：ZYGO Nexview NX2

更新時間：2025-10-31

廠商性質：代理商

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激光干涉儀

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ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索

在半導體與光學領域，薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜，若表面存在微米級顆粒或臺階起伏，可能導致器件失效或光學性能衰減。某專注光學薄膜研發的科技公司，曾因膜層表面檢測難題困擾多年，直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀，才真正實現了從“經驗判斷"到“數據驅動"的跨越。

該公司主打研發用于AR眼鏡的增透膜，膜層厚度僅120nm，卻需保證表面顆粒度≤50nm、全局平整度偏差＜1nm。過去，團隊依賴原子力顯微鏡（AFM）檢測，但AFM掃描范圍僅10μm×10μm，如同“用顯微鏡看地圖"，只能捕捉局部細節，無法判斷整層膜面的均勻性。更頭疼的是，批量生產時，若按AFM抽樣比例（每爐抽檢5個點），常因漏檢導致整批膜層返工?！坝写慰蛻舴答伳痈街Σ?，我們拆解后發現是局部顆粒堆積引發應力集中，但當時根本查不出問題根源。"研發主管王工回憶道。

接觸NX2后，團隊實現了“宏觀+微觀"的全景檢測。設備配置的白光干涉模塊，可掃描50mm×50mm的大視場區域，同時保持0.1nm的縱向分辨率——相當于在一張A4紙上，不僅能看清整幅畫的輪廓，連每根線條的粗細變化都能分辨。檢測時，軟件生成的彩色三維形貌圖讓團隊震驚：原本以為均勻的膜層，竟在邊緣區域存在密集的“小山包"（顆粒堆積），最高凸起達80nm。“以前AFM只測中心，我們誤以為膜面沒問題，現在才知道邊緣工藝參數需要調整。"王工說。

更關鍵的是，NX2的批量分析功能讓工藝優化有了明確方向。團隊將膜層制備的12道工序與NX2檢測數據關聯，發現顆粒堆積集中在“磁控濺射"環節——靶材濺射角度偏移導致部分粒子未均勻沉積。通過調整靶材位置并優化濺射功率，第二次檢測時，膜層邊緣的凸起高度降至20nm以下，全局平整度達標率從65%提升至92%。

目前，該公司的薄膜研發周期已從3個月縮短至1個半月。王工坦言：“NX2不僅是檢測工具，更是研發的眼睛。以前我們像在黑箱里試錯，現在每一步調整都能看到明確的形貌反饋，研發效率至少翻了一番。"對于薄膜這種“納米級精度+宏觀一致性"的材料，NX2的“跨尺度檢測"能力，正成為連接微觀機理與宏觀性能的核心橋梁。

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