奧林巴斯顯微鏡適配多樣需求的結構設計
奧林巴斯OLS5100提供靈活的樣品臺配置,既有100×100mm的手動款適合小型樣品檢測,也有300×300mm的電動款適配大面積樣品,最大樣品高度可達210mm,能容納大型機械零件等樣品。設備的體積設計考慮了實驗室空間需求,機身尺寸約800mm×600mm×1200mm,在保證穩定性的同時節省占地。
擴展性能豐富是其一大特點,側面預留的接口可連接拉曼光譜儀、原子力顯微鏡等設備,實現 “共聚焦成像 + 其他分析技術" 的聯用,一次檢測獲取多種數據。控制箱采用模塊化設計,后期維護時可快速更換故障模塊,減少停機時間。
外殼的防靜電噴涂處理不僅能抵抗化學腐蝕,還能保護內部電子元件免受靜電損害,在電子半導體實驗室等靜電敏感環境中也能安全使用。
該設備的掃描效率能滿足不同場景需求:快速掃描模式下幀率達 10 幀 / 秒,可在短時間內完成樣品初步篩查;精細掃描雖耗時稍長,但 4096×4096 像素的高分辨率能捕捉細微結構,適合深入分析。
Lext 專用物鏡的設計解決了傳統 lenses 外周測量偏差的問題,在檢測樣品邊緣區域時,數據可靠性更高。高度測量的重復精度在不同物鏡下表現穩定,50× 與 100× 物鏡下均能達到 0.012μm,寬度測量 3σ 重復精度在 100× 物鏡下為 0.02μm,多次測量的數據一致性較好。
彩色 DIC 成像與激光共聚焦成像可同步進行,既能獲得樣品的結構細節,又能保留顏色信息,在生物樣品、彩色涂層等檢測中優勢明顯。數據導出支持多種格式,能直接導入主流分析軟件,無需格式轉換。
型號選擇可參考應用場景:電子半導體行業推薦 OLS5100-SAF,高倍率與高精度適合晶圓檢測;機械制造行業可選 OLS5100-LAF,大樣品空間適配零件檢測;科研實驗室可選用 OLS5100-SMF,均衡性能滿足多學科需求。
敏感樣品檢測:選擇非接觸掃描模式,降低激光強度至樣品耐受范圍,如生物樣品可選用 532nm 綠色激光,減少光損傷。
大面積樣品檢測:啟用圖像拼接功能,設置 15% 重疊率,選擇電動樣品臺自動移動,掃描過程中避免觸碰設備。
微小缺陷檢測:切換至 100× 物鏡,采用精細掃描模式,開啟軟件的缺陷識別功能,自動標記異常區域。
批量樣品檢測:創建檢測模板,保存物鏡倍數、掃描參數等設置,后續檢測直接調用,配合樣品臺自動定位功能提高效率。
多技術聯用:連接擴展設備后,通過主控軟件同步控制,實現共聚焦成像與其他分析的時序聯動,確保檢測位置一致。
在電子半導體領域,某企業用 OLS5100 檢測 PCB 焊盤高度與平整度,通過 3D 數據判斷焊接質量,減少不良品流出。涂層行業中,某涂料企業借助其測量涂層厚度與均勻性,優化涂布工藝參數,提升產品質量穩定性。
精密機械加工中,刀具制造商通過該設備分析刀具磨損軌跡,量化磨損體積,為刀具材料改進提供數據。新能源領域,鋰電池企業用其檢測集電器表面粗糙度,確保涂布均勻,提高電池循環壽命。
生物材料研究中,科研人員用其觀察軟gu組織的微觀結構變化,為軟gu修復材料研發提供依據。在金屬材料領域,還能檢測金屬表面的納米劃痕與腐蝕坑,評估材料的耐磨損與耐腐蝕性能。
奧林巴斯顯微鏡適配多樣需求的結構設計