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三維光學輪廓儀
SENSOFAR共聚焦白光干涉儀
lynx2Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應用?
產品簡介
Sensofar白光干涉儀在微電子檢測應用?在微電子和半導體制造領域,對元件表面形貌的量化控制是工藝流程中的一環。Sensofar S lynx輪廓儀因其非接觸、高分辨率的特點,在該領域有相應的應用空間。
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