Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽?

產品簡介

Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽?
Sensofar LIN系列是面向工業與實驗室環境設計的經濟型三維光學輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內進行非接觸式三維形貌測量的解決方案。其設計注重操作的便捷性和測量的穩定性，適用于質量控制、研發分析等多種場景。

產品型號：LIN

更新時間：2026-01-06

廠商性質：代理商

訪問量：233

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

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Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽

Sensofar LIN系列是面向工業與實驗室環境設計的經濟型三維光學輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內進行非接觸式三維形貌測量的解決方案。其設計注重操作的便捷性和測量的穩定性，適用于質量控制、研發分析等多種場景。

產品細節與用途

LIN系列的核心特點在于其雙技術引擎。共聚焦技術適用于測量陡峭側壁和粗糙表面，而白光干涉技術則在測量平坦或輕微起伏的超光滑表面時表現出色。用戶可根據樣本特性在軟件中切換測量模式，或使用自動模式由軟件智能選擇。儀器主體采用橋式結構，樣本臺位于中心，保證了測量的穩定性。其主要用途包括微電子元件（如硅片、MEMS）、精密光學元件、材料表面（涂層、薄膜、粗糙度）等的三維形貌、臺階高度、粗糙度等參數的測量。

產品性能與用材

LIN系列的測量性能體現在其寬泛的垂直量程和橫向分辨率上。橋式框架通常采用剛性較好的金屬材料，以抑制環境振動和熱漂移的影響。樣本臺多為鋼或合金材質，表面進行處理以保證平整度。光學部件，如物鏡和參考鏡，被密封在受控的環境中，以減少空氣流動和溫度波動對干涉測量結果的干擾。儀器的設計考慮了在常規實驗室或車間環境下保持穩定工作的能力。

參數表（示例：LIN 基礎型號)

測量技術：共聚焦 + 白光干涉垂直掃描 (VSI)
垂直量程：最高可達10 mm (共聚焦)，數毫米 (VSI)
橫向分辨率：與所選物鏡相關，可達亞微米級
垂直分辨率：亞納米級 (VSI 模式)
物鏡轉盤：通常配置4-5個物鏡，自動切換
樣品臺：尺寸約 200 x 200 mm，手動或電動控制

使用說明要點

操作LIN系列輪廓儀，首先需將樣本平穩放置于樣品臺。啟動配套的SensoMAP軟件，根據樣本表面特性選擇合適的物鏡和測量模式（共聚焦或VSI）。通過軟件控制鏡頭聚焦，找到清晰圖像后，設定垂直掃描的起始和結束位置。隨后啟動自動測量程序，儀器將完成掃描并重建三維形貌。最后，利用軟件內置的分析工具進行粗糙度、臺階高度、體積等參數的提取。

總結

Sensofar LIN系列通過集成兩種光學測量技術，提供了一個適應多種測量需求的經濟型平臺。其結構設計和材料選擇著眼于日常使用的穩定性和易用性，為表面形貌分析工作提供了支持。

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