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產品簡介
                ZYGOZeGage Pro 結構與參數:可靠測量保障ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計,機身尺寸約 550mm×480mm×700mm,重量約 65kg,無需專用安裝空間,普通實驗室操作臺即可放置,節省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板,表面經過靜電噴塑處理,具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能,長期使用仍能保持外觀整潔,同時有效隔絕外部環境對內部光學系統的干擾。
ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計,機身尺寸約 550mm×480mm×700mm,重量約 65kg,無需專用安裝空間,普通實驗室操作臺即可放置,節省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板,表面經過靜電噴塑處理,具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能,長期使用仍能保持外觀整潔,同時有效隔絕外部環境對內部光學系統的干擾。

參數類別  | 具體參數  | 
測量技術  | 相移干涉、動態干涉、共聚焦成像  | 
橫向分辨率  | 0.15μm(20x 物鏡)  | 
縱向分辨率  | 0.1nm(相移干涉模式)  | 
掃描范圍  | X/Y 軸:80mm×80mm,Z 軸:40mm  | 
樣品臺承重  | 15kg  | 
樣品臺移動精度  | 0.05μm(XYZ 軸)  | 
傳感器幀率  | 120 幀 / 秒  | 
